艾森股份：KrF光刻胶下一步将在头部晶圆厂上线测试

2025/11/13 18:19:59

【艾森股份：KrF光刻胶下一步将在头部晶圆厂上线测试】《科创板日报》13日讯，艾森股份(688720.SH)发布投资者关系活动记录表，目前公司KrF光刻胶AR（深宽比）u003e13，主要应用于CISisolation等高深宽比结构，包括存储芯片的相应结构，下一步将在头部晶圆厂上线测试。