昊华科技：现有三氟化氮产能5000吨/年应用于集成电路制造的蚀刻、清洗等环节

2025/11/25 17:32:45

【昊华科技：现有三氟化氮产能5000吨/年应用于集成电路制造的蚀刻、清洗等环节】11月25日电，昊华科技在互动平台表示，公司现有三氟化氮产能5000吨/年，公司正在四川自贡沿滩基地新建6000吨/年三氟化氮项目，项目一期3000吨装置已投产。公司三氟化氮产品主要应用于集成电路制造的蚀刻、清洗等环节。