珂玛科技：12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产

2025/11/12 12:29:12

【珂玛科技：12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产】11月12日电，珂玛科技在互动平台表示，公司先进陶瓷主要应用于晶圆制造（包括存储芯片）前道工艺设备，目前已进入刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等多种设备。截至目前，公司12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产，12寸多区加热静电卡盘已完成产品开发，公司正积极推进其验证进程。