北方华创发布全新一代12英寸NMC612H电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备

2026/3/25 09:14:16

【北方华创发布全新一代12英寸NMC612H电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备】3月25日电，近日，北方华创正式发布全新一代12英寸高端电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备——NMC612H。该设备聚焦先进逻辑与先进存储领域关键刻蚀工艺需求，攻克了全新一代精准偏压控制、射频多态脉冲控制、超高速通讯网络控制等多项技术难题。