阿斯麦：预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50%

2026/2/23 22:10:49

【阿斯麦：预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50%】2月23日电，阿斯麦表示，通过提升功率，可将光刻机极紫外光源的功率提升至1000瓦特，预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50%。